02/01/2023
중국 통신 장비 기업 화웨이가 반도체 미세공정에 필수적인 극자외선(EUV) 장비 개발에 나섰습니다.
화웨이의 EUV 장비 개발은 미국 정부의 반도체 장비 수출 제재에서 벗어나기 위함입니다. 미국 정부는 중국의 반도체 굴기를 견제하기 위해 ASML, 어플라이드머티어리얼즈, 램 리서치 등의 반도체 장비 제조 기업에 EUV 장비 뿐 아니라 14nm 이하 제조에 사용되는 미세공정용 반도체 장비 수출 제한을 요청한 상황입니다.
화웨이가 출원한 특허는 EUV 장비에 사용되는 광원의 광도 불균일 문제를 해결하기 위해 고안된 것으로 ASML EUV 관련 특허와는 특허권의 범위가 다릅니다.
#화웨이
[테크월드뉴스=노태민 기자] 중국 통신 장비 기업 화웨이가 반도체 미세공정에 필수적인 극자외선(EUV) 장비 개발에 나선 것으로 알려졌다.27일 중국 IT 전문매체 마이드라이버스에 따르면 최근 화웨이는 EUV 노...